Mô tả sản phẩm
Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng khí – MGX690FC
MGX690FC dùng cảm biến lưu lượng cấp công nghiệp và mạch điều khiển số chính xác cao; đường khí được đánh bóng cho quy trình khí sạch, tùy chọn làm kín toàn kim loại để chống ăn mòn. Đo được cả các khí như silan, BF₃, clo; giao tiếp RS485 và EtherCAT.
Đặc điểm
- Đo và điều khiển chính xác bằng cảm biến lưu lượng cấp công nghiệp.
- Mạch và thuật toán điều khiển số độ chính xác cao.
- Độ chính xác cao, trôi điểm 0 thấp, độ lặp lại cao.
- Đường khí đánh bóng tinh cho quy trình khí sạch.
- Nhiều tùy chọn giao tiếp, tương thích linh hoạt.
- Tùy chọn làm kín toàn kim loại chống ăn mòn.
Nguyên lý bộ điều khiển lưu lượng khối lượng khí
Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng khí (MFC) kiểu nhiệt là thiết bị chính xác dựa trên nguyên lý khuếch tán nhiệt: đo trực tiếp và điều khiển chính xác lưu lượng khối lượng khí ở điều kiện chuẩn, vừa đo lưu lượng vừa tự động điều chỉnh van để cho dòng khí đầu ra ổn định, điều khiển được.
Bảng chọn dải đo (mặc định đầu nối compression 1/4″)
| Dải mL/min |
Dải L/min |
| 0–20 |
0–1; 0–2 |
| 0–50 |
0–5; 0–10 |
| 0–100 |
0–20; 0–50 |
| 0–200 |
0–100 |
| 0–500 |
0–500 |
Thông số kỹ thuật
| Thông số |
Giá trị |
| Môi chất |
Không khí, nitơ, oxy, CO₂, hydro, silan, BF₃, clo… |
| Độ chính xác |
±0.3 %F.S (≤ 30 %F.S); ±1.0 %S.P (> 30 %F.S) |
| Tỷ lệ đo |
1:50 |
| Áp suất làm việc tối đa |
10 bar |
| Giao tiếp |
RS485, EtherCAT |
| Cổng kết nối điện |
RJ45 |
| Thời gian đáp ứng |
≤ 1 s |
| Độ lặp lại |
≤ ±0.2 %F.S |
| Nguồn cấp |
DC 24 V |
| Công suất tiêu thụ |
≤ 2.7 W |
| Thời gian khởi động |
≤ 1 s |
| Nhiệt độ làm việc |
0 ~ 50 °C |
| Nhiệt độ lưu kho |
-20 ~ 85 °C |
| Độ ẩm làm việc |
10–90 %RH (không đóng băng, không ngưng tụ) |
| Vật liệu thân |
Đế inox 316L; vỏ hợp kim nhôm |
| Đầu nối |
Compression 1/4″; VCR 1/4″; tùy chọn khác |
Liên hệ báo giá
HIGH TECH AP EURO INSTRUMENTS COMPANY LTD
Địa chỉ: 17/43 Gò Dầu, P. Tân Quý, Q. Tân Phú, TP HCM
Hotline/Zalo: 0908 507 021 – Email: sales.apeuro@gmail.com
